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◆概要

MNCの設備は全て共用であり、多くの人に実質的に利用されるように努めています。 MNCは東北大の教職員であればどなたでも利用できます。 また、外部の方(企業、他大学、国立機関、外国の大学・研究所)も、 東北大のどこかの研究室とコンタクトを取って利用いただければ、 基本的にはどなたでも利用できます。 設備の維持を研究者や学生の手で行っているので、 試作や分析の請負をするのではなく、 装置担当者の指導を受けて直接に装置を運転して 研究していただく方針を基本にしています。 従ってメンテナンスにもご協力いただいています。利用申請はいつでも受け付け、 すぐに利用できます。 装置の状況は電子メールにより関係者全員にお知らせしています。

◆利用の方針

MNCでは半導体集積回路製作技術を中心としたハイテク技術をできるだけ 多くの方々が習得し、高いレベルの研究を具体化し、 産業を生み出すような実用的なデバイスを実現することに 広く貢献できることを目指しています。
このため、設備の使用においては利用者自身が、使用方法を十分理解し、 十分な性能を発揮するよう調節に心がけ、次の使用者のことを考えて、 後処理やメンテナンスに参加することを基本としています。 相互の情報交換と協力により、 利用しやすい設備とレベルの高い研究を維持したいと考えています。

◆利用登録の流れ

MNCをご利用になられる際には安全講習会の受講(録画DVDも可)、
MNC利用資格検定の合格後、 [MNC利用資格検定について(pdf 文書 学内限定)]
下記の書類を提出していただきます。
(1)利用者責任者登録申請書(pdf 文書)
(2)利用者登録申請書(pdf 文書)
(3)大学の職員証あるいは学生証
入館証として登録しますので、必ずご持参ください。
研究生等で学生証がない方は、図書館の利用カードで登録できます。
・申請場所:MNCマイクロマシニング棟3階 共同研究室
・受付時間:午前10時から午後4時まで

◆利用形態

利用形態
基本的に制限はありませんが、企業の方は大学との共同研究 (どの方式でも可) の手続きを取っていただいてご利用いただけます。

利用テーマ
大学での研究にふさわしければ基本的に制限はありません。 テーマの審査等はMNCでは行っていません。

利用申請
随時受け付けています。利用者は必ずMNC利用登録手続きを行ってください。

利用期間
基本的に制限はありません。いつでも開始し、終了できます。

利用経費
消耗品の利用者負担と機器使用料を基本にしています。

特許について
特許の取得を推奨しています。特許の申請については実施した研究形態 (共同研究,文部科学省科学研究等) の取り決めに従ってください。

◆館内図

MNCマイクロマシニング棟館内図

MNC館内図

◆主な共用装置

本施設内で利用できる主な装置の紹介です。是非お気軽にお問い合わせください。
下記の他にも有用な装置を多数設置しております。詳細はMNC装置カタログ(PDF)をご覧ください。

評価・分析

SEM-EDX

SEM-EDX
FIB

FIB
SIMS

SIMS
XRD

XRD
XPS

XPS
UHV-STM&AFM

UHV-STM&AFM
SPM

SPM
FT-IR

FT-IR
エリプソメーター

エリプソメーター
マイクロシステムアナライザ

14GHz ネットワークアナライザ

14GHz ネットワークアナライザ
半導体パラメータアナライザ

半導体パラメータアナライザ

エッチング

STS ICP RIE

STS ICP RIE
Pegasus Advanced
(Deep RIE)
Pegasus Advanced
ANELVA RIE

ANELVA RIE
XeF2 gas Etcher

XeF<sub>2</sub> gas Etcher
Ion beam milling

Ion beam milling
FAB

FAB

成膜

パイロ酸化炉

パイロ酸化炉
P-TEOS CVD

P-TEOS CVD
TEL LPCVD

TEL LPCVD
Astex diamond CVD

Astex diamond CVD
ANELVA Sputter

ANELVA Sputter
EIKO Sputter

EIKO Sputter
SHIBAURA Sputter

SHIBAURA Sputter
EB evaporation

EB evaporation
PLD

PLD

リソグラフィー

電子ビーム描画装置

電子ビーム描画装置
レーザー描画装置

レーザー描画装置
EVGアライナー

アライナー

接合

EVGボンダ

EVGボンダ
フリップチップボンダ

フリップチップボンダ
赤外接合評価装置

赤外接合評価装置

その他

イオン注入装置

イオン注入装置
水素アニール炉

水素アニール炉
ダイサー

ダイサー